La composition de la machine de revêtement par évaporation par faisceau d'électrons

La composition de la machine de revêtement par évaporation par faisceau d'électrons

La machine de revêtement par évaporation par faisceau d'électrons se compose principalement d'un système de contrôle, d'un véritable système de chemin d'air et d'un système de canon à électrons. Il y a deux pompes dans le chemin d'air sous vide du vrai chemin d'air de la machine de revêtement par évaporation par faisceau d'électrons, à savoir la pompe mécanique de l'étage avant et la pompe cryogénique à vide poussé, parmi lesquelles la fonction de la pompe cryogénique se fait principalement par la très basse température, selon à l'adsorption originale du parapluie froid pour atteindre l'objectif du vide. Dans le processus de démarrage de la pompe à vide élevé à basse température, le niveau de la pompe mécanique sera avant le pipeline dans un état de vide, lorsque le pipeline de vide atteint une certaine mesure, une soupape de bon augure s'ouvrira, ce niveau avant que la pompe mécanique continue pour fonctionner, faire en sorte que le tuyau et la pompe à basse température aient un état de vide, puis une ancienne soupape à étage répète les étapes ci-dessus. {{2}}. Chauffage par faisceau d'électrons et source d'évaporation La source d'évaporation du faisceau d'électrons est principalement composée d'un canon à électrons et d'un creuset. Si nécessaire, un ensemble d'équipements mécaniques pouvant fournir des matières premières pour la machine d'enduction peut être fixé. Dans la plupart des cas, le dispositif de contrôle qui produit et contrôle le faisceau d'électrons et la conception du creuset seront intégrés dans la machine de revêtement. Voici plusieurs structures des sources de chauffage et d'évaporation du faisceau d'électrons. L'évaporateur chauffé par cathode linéaire et focalisation électrostatique. (2) l'évaporateur chauffé par cathode annulaire et focalisation électrostatique. L'évaporateur chauffé par pistolet axial et mise au point électrostatique à distance. L'évaporateur chauffé par pistolet axial, focalisation magnétique et déviation magnétique 90 degrés. Évaporateur à canon de type E, la source d'évaporation de faisceau d'électrons de type E émise par la trajectoire électronique est similaire à la 0010010 quot; E 0010010 quot; mot, il est donc appelé pistolet E. À l'heure actuelle, cette forme de source d'évaporation est la plus largement utilisée dans le processus d'évaporation sous vide et de revêtement.

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