Plusieurs sources d'alimentation en technologie PVD - Alimentation Multi Arc
Aug 21, 2020| Plusieurs sources d'alimentation en technologie PVD - Alimentation multi-arc
La réalisation de l'évaporation et de l'ionisation de la cible dans le film de placage ionique multi-arc doit reposer sur l'énergie fournie par la puissance de l'arc. Dans le processus de revêtement réel, la puissance doit être capable de détecter automatiquement le phénomène d'extinction de l'arc et de démarrer l'arc automatiquement, de manière à assurer la continuité du processus de revêtement et l'uniformité de la couche de film. De plus, la performance constante de la puissance de l'arc, en particulier le courant constant minimum, a une grande influence sur la cohérence, l'efficacité et la finition du film. Une machine de placage ionique multi - arc est équipée de quelques puissances d 'arc électrique, plus d' une douzaine, voire des dizaines. Un travail stable et fiable est essentiel à la performance de l'ensemble de l'équipement. Puissance d'arc à partir de la source d'énergie traditionnelle, grâce à l'utilisation de la technologie de contrôle au silicium, développée pour le présent onduleur haute fréquence. Par rapport à la puissance d'arc produite par la technologie traditionnelle électromagnétique et contrôlée au silicium, la puissance d'arc de l'onduleur haute fréquence présente les caractéristiques suivantes:
1. Taille réduite, seulement une fraction de celle de l'ancien bloc d'alimentation; Le poids de l'alimentation électrique correspondant ne représente qu'une fraction à un dixième de l'alimentation électrique traditionnelle.
2. L'efficacité de l'alimentation électrique a été considérablement améliorée, environ 20% ~ 30% supérieure à celle de l'alimentation électrique à l'ancienne.
3. Facile à utiliser, haute précision de la régulation actuelle, bonnes performances de courant stables, ce qui favorise un contrôle précis de l'épaisseur du film et assure la répétabilité de l'épaisseur du film.
4. La source d'alimentation à arc à onduleur haute fréquence a une petite ondulation et sa vitesse de réponse est beaucoup plus élevée que celle de la source d'alimentation à l'ancienne. Dans la même source d'arc et les mêmes conditions de travail, l'utilisation d'une source d'alimentation d'arc à onduleur haute fréquence est propice à l'amélioration de la stabilité de l'arc et à la réduction du nombre d'extinction d'arc.
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