Sélection d'équipements de mesure du vide dans différentes gammes de vide

Aspirateur brut

Applications générales sous vide, manomètre à ressort (jauge de déformation élastique mécanique)

En même temps, lors de la mesure du vide grossier au vide bas, un vacuomètre à membrane, un vacuomètre capacitif à film et un vacuomètre à ionisation radioactive peuvent être utilisés

101325-1000Pa

Gaz corrosif, jauge de film capacitif

Occasions de mesure de précision, manomètre à vide de type u

Vide faible

Pour indication approximative uniquement ， Indicateur de vide d'étincelle

1000-0.1Pa

En général, thermocouple ou vacuomètre à résistance

Mesure de précision, vacuomètre à compression ou vacuomètre à couche mince de type capacitif

vide poussé

L'utilisation principale de la jauge à vide d'ionisation

10 ^-1 -10 ^-6 Pa

Manomètre à vide de compression

Dans le même temps, il est nécessaire de mesurer un vide faible et un vide poussé, une jauge à vide composée (combinaison d'une jauge à vide à ionisation et d'une jauge à vide à thermocouple) ou d'une jauge à vide à ionisation haute pression

Jauge à vide à ionisation par cathode froide pour équipement sous vide avec une grande capacité de décharge et des occasions avec de faibles exigences

  vide ultra-élevé (UHV)

Vacuomètre à ionisation de type BA

De la mesure de vide faible au vide ultra élevé, au vacuomètre ultra haut de gamme ou au vacuomètre composite ultra haut

10 ^{-6-10 -10} Pa

Jauge à vide à ionisation à commande magnétique à cathode froide

vide très élevé (XHV)

·

Jauge à vide à ionisation à commande magnétique à cathode froide

U nder   ^10-10 Pa

Jauge à vide à ionisation à commande magnétique à cathode chaude

Jauge de vide à ionisation ba améliorée