Pompe d'amorçage
Oct 10, 2023| Pompe d'amorçage
La pompe de pré-pompage (pompe de pompage grossière) est principalement utilisée pour éliminer un grand nombre de gaz dans la chambre à vide, de sorte que la pression du gaz dans la chambre à vide soit réduite de la pression atmosphérique au degré de vide lorsque la pompe principale peut démarrer fonctionnant, par conséquent, la pression atteinte par la pompe de pré-pompage doit être inférieure à la pression de fonctionnement de démarrage de la pompe principale, et la vitesse de pompage de la pompe de pré-pompage sélectionnée par l'unité est déterminée par le temps de pompage grossier. Afin d'améliorer le taux d'utilisation de l'unité de vide, la pompe de pré-pompage peut être utilisée comme pré-pompe et la vanne de vide est utilisée pour séparer et basculer entre les deux fonctions de pompage différentes.
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