Vue d'ensemble de la technologie d'échappement des équipements sous vide

Généralement, le vide est obtenu par pompage du système de vide. Selon le degré de vide et de propreté requis, différents systèmes de vide sont utilisés. Le système de vide général peut être divisé en: systèmes à vide faible et moyen, systèmes à vide poussé, systèmes à vide poussé et systèmes à vide extrêmement poussé basés sur le degré de vide.

Ces systèmes de vide se composent de différentes pompes principales, de systèmes auxiliaires et d'autres pièces de vide correspondantes. Le système à vide moyen et faible est constitué d'une pompe mécanique ou d'une pompe mécanique et d'une pompe à racines. Afin d'éviter la contamination par l'huile, un piège à tamis moléculaire peut également être installé. Cependant, les particules solides de tamis moléculaire doivent être empêchées d'être aspirées dans la pompe mécanique pendant le fonctionnement.

Le système à vide poussé est principalement composé d'une pompe à diffusion, d'un déflecteur, d'un piège à froid, d'une vanne à guillotine, d'une pompe mécanique et d'autres pièces. La pompe principale peut également être une pompe turbo moléculaire ou une pompe cryogénique. Pour réduire davantage la pollution par les hydrocarbures, une pompe ionique à pulvérisation cathodique peut être utilisée avec une pompe à sublimation en titane ainsi qu'un déflecteur à basse température pour former une unité d'aspiration à vide élevé sans huile, dont la pompe d'appoint est une pompe d'adsorption.

Le signe le plus important des systèmes à vide ultra-élevé et extrêmement élevé est le haut degré de propreté. Un vide ultra-élevé et extrêmement élevé peut être obtenu en utilisant des pompes ioniques à haute performance, des pompes cryogéniques, des pompes turbo-moléculaires, des pièges à froid et d'autres pièces.

L'allumage, l'extinction, le fonctionnement, la protection contre la pollution en cas de panne des différents systèmes de vide ont tous des exigences strictes. Et les opérateurs doivent se conformer aux procédures d'exploitation.

Par exemple, la pompe mécanique peut seulement pomper la pression de 15Pa-20Pa ou plus, sinon la pollution du reflux est grave. La pompe à diffusion a une grande pollution de la vapeur d'huile avant son fonctionnement et pendant 20 minutes après son arrêt, elle ne doit donc pas être connectée à la chambre à vide ou au piège à froid, donc le piège à froid doit être isolé de la chambre à vide. retiré et la température est rétablie, la pompe à vide poussé peut être arrêtée. La pompe d'adsorption doit être équipée d'un dispositif de projection anti-pression pour éviter les accidents après réchauffage.

Si le vide ne peut pas être obtenu, il est d'abord nécessaire de vérifier si l'extracteur d'air fonctionne correctement et, deuxièmement, de vérifier s'il y a une source de gaz non autorisée. Maintenant, prenez le récipient cryogénique d'isolation thermique multicouche. Les pièces sous vide doivent être soumises à un nettoyage strict, à un séchage et à une détection de fuite avant l'assemblage. Il est également nécessaire de vérifier si la bague d'étanchéité de la partie amovible est propre et bonne, si la surface d'étanchéité est rayée ou non, ou si la connexion est étanche.