Principaux problèmes du système de vide de la pompe à diffusion d'huile

Principaux problèmes du système de vide de la pompe à diffusion d'huile

Sources polluantes du système de vide de la pompe à diffusion d'huile :
(1) le reflux de vapeur d'huile dans la pompe à diffusion. C'est la source de pollution la plus importante.
(2) Les pièces du système doivent être maintenues à la main avec de l'huile pendant le montage. Utilisez des gants gras car les molécules organiques collantes peuvent contaminer le système.
(3) refoulement de l'huile dans la pompe mécanique de la bague d'étanchéité de l'ancien étage. Ce problème est également très grave, lorsque la pression d'entrée est plus élevée, dans la zone de transition (1 ~ 10-1 Pa) de pression, la vapeur d'huile de la pompe mécanique peut entrer directement dans la pompe à diffusion, polluant directement le système. Une grande partie de la pollution du procédé sous vide provient du retour mécanique de la pompe. Lorsque la pompe mécanique est arrêtée, si l'atmosphère n'est pas introduite dans la pompe à temps, l'huile de la pompe mécanique peut être directement renvoyée dans le carter d'huile de la pompe à diffusion. Lors du démarrage de la pompe à diffusion, la pollution du système est plus importante.
(4) la pollution causée par la libération de matériaux d'étanchéité dans le système d'échappement. En particulier, les bagues d'étanchéité en caoutchouc artificiel, la graisse d'étanchéité, l'huile de lubrification, etc., provoquent également une pollution grave.
(5) Lorsque la pompe est arrêtée et que l'atmosphère est libérée, les pièces sous vide sont collées avec de la vapeur d'eau et du noir de fumée dans l'air, provoquant une pollution du système de vide

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