Comment résoudre le problème de l'irrégularité du film dans la pulvérisation cathodique magnétron?
Jul 07, 2018| 1. Assurer l'uniformité et la direction du champ magnétique autant que possible pour former un champ magnétique spatial relativement uniforme.
2. Assurer l'uniformité des pressions supérieure et inférieure, la chambre à vide doit être conçue en tenant compte de la position d'installation de la pompe à vide, le mode d'admission du gaz de processus et la disposition des tubes de gaz de traitement dans la cavité.
3. Puisque ni le champ magnétique ni la pression d'air ne sont absolument idéaux, l'irrégularité de la pression d'air peut être utilisée pour compenser le champ magnétique irrégulier et uniformiser le film final.
4. La distance entre la cible et le substrat est également un facteur important qui affecte l'uniformité du film.