Comment résoudre les problèmes courants de la pulvérisation magnétron ?
Aug 19, 2022| Comment résoudre les problèmes courants de la pulvérisation magnétron ?
La pulvérisation magnétron, un processus de dépôt physique en phase vapeur (PVD), est la principale méthode de dépôt de couches minces pour la fabrication de semi-conducteurs, de disques durs, de CDS et de dispositifs optiques. Les problèmes suivants sont courants dans la pulvérisation magnétron. Nous avons répertorié les causes possibles et les solutions associées pour votre référence.
● Problème 1 : film gris noir ou foncé
Problème deux : la surface du film est terne et terne
Problème 3 : la couleur du film n'est pas uniforme
● Problème 4 : rides, craquelures
Problème cinq : la surface du film présente un filigrane, une empreinte digitale et des particules grises
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