Comment réduire efficacement le taux de fuite du système de vide?

La structure du système de vide

La structure du système de vide est la clé pour affecter l'étanchéité du système de vide et le taux de fuite du système. La structure du système de vide est raisonnable ou non, ce qui affectera directement les performances d'étanchéité et le taux de fuite du système.

1. Éviter autant que possible l'apparition d'un angle mort avec un petit rayon de courbure. Assurer une transition en douceur pour vérifier les freins dans le polissage et le nettoyage.

2. La canalisation raccordée à la chambre à vide, telle que la canalisation d'évacuation et la canalisation d'alimentation en air, adopte une transition en arc de cercle pour que le passage de gaz ne soit pas obstrué, mais la commodité du nettoyage doit être prise en compte.

3. Concevoir soigneusement la structure des différentes pièces de raccordement dans la chambre à vide pour rendre le passage de l'air libre et éviter le blocage.

4. Broyer et polir la surface interne du système de vide. Plus la surface est claire, moins le gaz est absorbé et plus il est facile d'obtenir le vide.

5. Minimisez le volume de la chambre à vide et raccourcissez le système de tuyauterie.

Formulaire de cachetage

La forme d'étanchéité peut être choisie en fonction du degré de vide requis et des besoins réels.

Sélection du matériau d'étanchéité: Pour un système sous vide avec un degré de vide inférieur à 10 Pa, le matériau d'étanchéité utilise généralement une bague d'étanchéité en caoutchouc pour répondre aux exigences. Toutefois, compte tenu des conditions de travail réelles (la température de la chambre à vide peut atteindre 2300 ℃ , la température de la pièce d'étanchéité est d'environ 80 ℃ après le refroidissement par eau et la température de chaque pièce peut dépasser 100 ℃ ). Par conséquent, choisissez le matériau idéal de la bague d'étanchéité.

Pour les matériaux en caoutchouc utilisés pour le scellement sous vide, en plus de la surface lisse, aucune rayure et aucune fissure, faible perméabilité et débit de gaz, bonne résistance à la chaleur et à l'huile ainsi qu'une certaine résistance, dureté et élasticité sont également nécessaires.

Sélection de structure de joint statique

Dans divers systèmes de vide, plus de 80% des joints sont des joints statiques, et l'effet du joint statique a une grande influence sur le degré de vide et le taux de fuite d'air. Par conséquent, la structure du joint statique doit être soigneusement conçue pour atteindre les résultats souhaités.

La conception de la structure d'étanchéité statique considère principalement comment choisir la surface d'étanchéité principale, comment réduire le gaz résiduel et comment exercer pleinement la fonction de la bague d'étanchéité en caoutchouc.

Qu'il s'agisse d'une rainure d'étanchéité rectangulaire, d'une rainure d'étanchéité en queue d'aronde ou d'une rainure d'étanchéité trapézoïdale, la rugosité du fond de rainure est facilement obtenue comme surface d'étanchéité principale et la rugosité latérale est souvent difficile à obtenir. En même temps, afin d'éliminer le gaz résiduel, un trou traversant est conçu en présence de gaz résiduel, de sorte que l'intérieur du système ne soit pas obstrué.