Groupe pompe à vide poussé

Groupe pompe à vide poussé
Le groupe de pompes à vide poussé fonctionne dans l'état de flux moléculaire et, comparé à l'unité à faible vide, il se caractérise par une faible pression de service (10-2 ~ 10-6Pa), un petit volume d'échappement et une grande vitesse de pompage. . La pompe principale de l'unité est généralement une pompe à diffusion, une pompe de surpression de diffusion, une pompe moléculaire, une pompe de sublimation en titane, une pompe à condensation basse température, etc. Ces pompes ne peuvent pas fonctionner directement dans l'atmosphère, il est donc nécessaire de configurer des pompes de pré-pompage. et des pompes de pré-étage, et certaines pompes à diffusion sont également équipées de pompes de maintenance de pré-étage ou de réservoirs de gaz pour éviter les fluctuations de pression dans le système et améliorer les performances de pompage de l'unité.

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