Fabrication et application de la cible en aluminium titane pour revêtement PVD

Traditionnellement, des procédés de moulage et de métallurgie des poudres sont utilisés pour produire des cibles en alliage d'aluminium et de titane .

Desserrer et rétrécir les trous de la cible en alliage titane-aluminium ne peut pas être évité par le processus de moulage. Les tuyaux et les lingots en fonte de titane-aluminium de grande taille ne peuvent pas garantir une bonne étanchéité et un effet imperméable à l'eau lors de la fabrication de cibles tubulaires rotatives. De plus, l'épaisseur de la paroi diminue lorsque la paroi du tube est gravée. Tant qu'il y a un trou relié à la fente et au trou, le scellement s'aggrave. La fuite provoquera le rougeoiement et la décharge du tube cible, ou une grande quantité de gaz divers participe à la réaction, ce qui provoque la chute du film ou la mauvaise couleur du revêtement. Dans les cas graves, l'eau est projetée dans la chambre à vide à partir du trou de rétraction, qui contamine la vraie cavité et l'unité de vide.

Il n'y a pas de défauts de desserrage et de rétrécissement par le processus de la métallurgie des poudres. Cependant, du point de vue microscopique de la métallurgie des poudres, c'est aussi le matériau poreux. Par conséquent, afin de produire une cible en tube de titane en aluminium rotatif, la densité du matériau doit être supérieure à 98%, mais le respect de l'exigence de densité ne signifie pas qu'il peut être utilisé. Si le lingot d'aluminium et de titane a une teneur élevée en oxygène et une microstructure déraisonnable, il ne peut pas être utilisé pour produire une cible tubulaire rotative en raison de la grande contrainte interne. Par conséquent, il existe de nombreuses exigences pour la production de poudre et la distribution granulométrique. Même si le matériau remplit toutes ces conditions, la bague en aluminium-titane de la métallurgie des poudres doit être attachée au tube en acier inoxydable ou au tube en titane. En raison du grand coefficient de dilatation thermique du titane aluminium, la dilatation du matériau cible local peut atteindre 0,5 à 1 m lors de la pulvérisation, de sorte que la méthode traditionnelle de lingot de liaison ne peut pas résoudre efficacement ce problème. Il y a un phénomène que les lingots d'aluminium de titane sont séparés et l'énergie thermique sur la surface de la cible ne peut pas être conduite et éclater. L'ajustement serré du lingot de liaison n'est pas fiable, et la qualité de la cible d'alliage d'aluminium et de titane revêtue par plasma est médiocre.

Récemment, les montres, les bijoux et les industries de verre nécessitent un revêtement décoratif en or rose ne contenant pas de carbone et font que le fond de la rose est proche de la couleur or rose sur la surface des revêtements. Par conséquent, TiCN a été incapable de répondre aux exigences, et TiAlN est la solution la plus parfaite. Les montres et les horloges bas de gamme n'ont pas beaucoup d'épaisseur et de brillance, la plupart d'entre elles utilisent un revêtement en titane d'aluminium pour déposer le revêtement TiAlN, les montres haut de gamme et les horloges exigent une épaisseur de 1 μm ou plus. L'arc n'a aucun avantage à lisser l'épaisseur du film en raison des gouttelettes. À l'heure actuelle, la meilleure façon est d'utiliser la cible de tube rotatif pour déposer le revêtement TiAIN, la couleur de celui-ci est plus proche de l'or rose, et le brillant n'est pas affecté après l'augmentation de l'épaisseur.