Effet du courant de source d'arc sur la dureté du film d'étain
Jun 20, 2018| Une dureté élevée est une caractéristique très importante des films TiN, et une dureté élevée correspond à une bonne résistance à l'usure. Le courant de source d'arc a une grande influence sur la dureté du film. La figure 1 montre la règle de variation de dureté des films TiN à différents courants de source d'arc. On peut voir que la dureté du film de TiN augmente avec l'augmentation du courant de source d'arc. La dureté du film de TiN préparé à un courant de source d'arc de plus de 80 A dépasse HV2000.
Fig. 1 Relation entre la dureté du film de TiN et le courant de la source d'arc
La température du substrat affecte la structure de croissance du film et affecte ainsi ses performances. Lorsque la température est basse, la structure du film mince est une structure cristalline colonnaire relativement grande. Cette structure est plutôt rugueuse avec une faible densité et beaucoup de défauts de trous, donc la dureté du film est faible. Avec l'augmentation du courant de source d'arc, la température du substrat augmente également et la diffusion des atomes déposés sur le substrat est accélérée, de sorte que la structure du film passe d'une structure colonnaire plus lâche et plus grossière à une structure cristalline colonnaire plus dense. . En même temps, les grains deviennent plus fins et la limite de grain renforce le film, ainsi la dureté du film augmente.