Pompe de diffusion
Apr 09, 2020| Pompe de diffusion
Comme nous le savons tous, la pompe à diffusion d'huile est une sorte de pompe souvent utilisée dans les systèmes à vide poussé. Alors, la question est, quelles sont les méthodes? Les méthodes sont les suivantes: premièrement, le choix de bonnes performances de l'huile de pompe de diffusion sur la pression limite de la pompe de diffusion d'huile a un grand impact. Sinon. 3 huile de pompe à diffusion est utilisée, la pression ultime ne peut atteindre que 10-5pa Lorsque l'huile de silicone 275 est utilisée, la pression ultime peut atteindre 10-7 pa et la pression ultime peut être augmentée de 2 ordres de grandeur. Deuxièmement, la pression partielle du gaz pompé change également avec la différence de l'huile de pompe, qui est l'influence de la composition de l'huile de pompe. Par conséquent, la pompe à diffusion d'huile avec de bonnes performances doit être sélectionnée pour obtenir un vide ultra-élevé. Puisque l'huile de la pompe à diffusion est si importante, comment devons-nous choisir? Les exigences de l'huile de pompe à diffusion sont: la masse moléculaire relative de l'huile de pompe doit être grande, la pression de vapeur à température ambiante doit être faible, la stabilité thermique et la résistance à l'oxydation doivent être bonnes, le point de congélation et la viscosité à basse température doivent être faibles, non toxiques, résistance à la corrosion, coût faible. La pompe à diffusion d'huile à vide poussé UTILISE généralement le no. 3 l'huile de pompe à diffusion, le vide ultra-élevé UTILISE de l'huile de silicone, nécessite le système de vide ultra-élevé sans hydrocarbures, la pompe de diffusion UTILISE de l'huile fluorée. Deuxièmement, l'utilisation d'une pompe de diffusion d'huile de technologie de cuisson raisonnable pour obtenir un système de vide ultra-élevé doit être effectuée une cuisson à haute température, le but est de réduire le taux de matériau. Les matériaux dans l'atmosphère peuvent absorber et absorber une partie du gaz, lorsqu'ils sont sous vide, ils produiront une désorption, du gaz libéré lentement, afin d'accélérer la désorption, en utilisant la cuisson.
Cuire? Cela semble simple, non? Non, non, non, non, non, non, non, non, non, non. Le principe est qu'une température plus élevée est meilleure, peut accélérer l'air, mais aussi examiner si le matériau peut résister à la température élevée. Cuire à la bonne température. Matériaux généralement métalliques, tels que l'acier inoxydable, température de cuisson de 250 ℃ - 450C; La température de cuisson des matériaux non métalliques est de 80 100 - 100 ℃ . Temps de cuisson supérieur à 4h - 8h. Le temps de cuisson d'un vide extrêmement élevé est supérieur à 24h. Performance d'un système de pompe à diffusion d'huile métallique typique (après cuisson) et de composants de gaz résiduel dans un système à vide ultra-élevé de pompe à diffusion d'huile métallique Troisièmement, ajoutez un dispositif de piège à froid pour empêcher le reflux de l'huile de pompe et transférez l'huile de pompe à travers le débit d'entrée de la pompe vers le phénomène de réservoir pompé, appelé reflux. Le phénomène des molécules d'huile se déplaçant le long de la paroi dans le conteneur pompé est appelé migration inverse. Le reflux et la migration inverse affectent la pression ultime du système de vide. Le piège à froid est largement utilisé dans les systèmes à vide ultra-élevé, il est installé entre l'entrée de la pompe et la chambre à vide, non seulement peut capturer efficacement le reflux de la vapeur de la pompe de diffusion et de la solution de fractionnement partiel, mais peut également éliminer la vapeur du chambre à vide. Système de vide ultra élevé avec divers pièges. Un vide ultra-élevé de 10-8pa ~ l0-10pa (ou plus) peut être obtenu après une cuisson et un dégazage à haute température. Le piège froid couramment utilisé est le piège froid à l'azote liquide, car à la température de l'azote liquide, la pression de vapeur d'huile de la pompe est bien inférieure aux exigences de vide ultra-élevé. La conception du piège froid à azote liquide doit garantir que les molécules traversant le piège rencontreront la surface froide, et la structure doit être raisonnable. Après avoir installé le piège à froid à l'azote liquide, la vitesse de pompage de la pompe à diffusion d'huile n'est pas réduite de plus de 40%.
La réduction de la diffusion inverse du gaz pompé est l'un des facteurs qui restreignent la pompe de diffusion pour obtenir un vide ultra-élevé. L'anti-diffusion du gaz est liée à la masse moléculaire. Plus la masse est petite, plus l'anti-diffusion est facile. Il existe deux méthodes pour empêcher la diffusion inverse de l'hydrogène dans la pompe de diffusion: premièrement, réduire la pression d'échappement à la sortie de la pompe de diffusion, en utilisant deux pompes de diffusion en série pour atteindre; La seconde consiste à installer un piège à sublimation en titane refroidi à l'azote liquide sur le tuyau d'entrée de la pompe de diffusion pour capter l'hydrogène anti-diffusion.
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