Procédure de fonctionnement correcte et traitement des défauts de la machine de revêtement sous vide

Procédure de fonctionnement correcte et traitement des défauts de la machine de revêtement sous vide

IKS PVD, nous effectuerons une formation complète pour votre personnel après l’installation de la machine à enduire.

Contactez-nous maintenant, iks.pvd @ foxmail.com

Fonctionnement de l'armoire de commande électrique

1, pompe à eau ouverte de machine de revêtement sous vide en verre, source de gaz

2, ouvrir la puissance totale

3, ouvrir la pompe de maintenance, la puissance du compteur de vide, la position du fichier de jauge à vide, attendre sa valeur inférieure à 10, puis entrer dans la prochaine étape de fonctionnement. Cela prend environ 5 minutes.

4. Ouvrez la pompe mécanique et la pré-pompe, ouvrez l'alimentation de la pompe moléculaire à turbine et démarrez-la. Basculez la jauge à vide sur la position V2 et pompez jusqu’à moins de 2, environ 20 minutes.

5. Notez qu'après la lecture de la pompe moléculaire de la turbine a atteint 250, fermez la pompe, ouvrez la machine avant et la vanne haute pour continuer à pomper le vide et la tête de la jauge de vide haute sur le être ouvert pour observer le degré de vide. Le vide atteint 2 10-3 avant que le pistolet puisse être mis sous tension.

Fonctionnement de l'armoire d'alimentation du canon à électrons def-6b

1, puissance totale

2, équipement de revêtement sous vide, en même temps ouvert , contrôle du pistolet et contrôle du pistolet, puissance: revêtement de verre automatique selon le contrôle du canon à électrons , alimentation, commutateur de retard, retard, puissance et protection de la lumière, trois minutes après l'heure retardez et protégez les lumières sont éteintes, si la porte arrière n'est pas fermée ou si le relais de courant ne fonctionne pas correctement, protégez normalement.

3. Ouvrez la haute tension, la haute tension atteindra plus de 10KV, réglez le faisceau sur environ 200mA, la grille de rideau est de 20V / 100mA, le courant de filament 1.2a, le courant de déviation oscille entre 1 et 1,7.

Séquence d'arrêt

1. Éteignez la tête de l'indicateur de vide poussé et la pompe moléculaire.

2. Lorsque la pompe moléculaire est affichée à 50, fermez successivement la vanne haute, la scène avant et la pompe mécanique, ce qui prendra environ 40 minutes.

3. Arrêtez la pompe de maintenance lorsqu'elle est inférieure à 50.

Échec commun de la machine de revêtement et de son traitement

Le signal de retournement de la pince de masque ne peut pas être détecté:

1. Vérifiez la position de la source du signal de retournement.

2. Court-circuitez manuellement le signal d’entrée Flip. Si aucun signal ne peut être détecté, vérifiez d'abord le circuit, puis remplacez la carte de contrôle.

Retournement instable de la pince du masque:

1. Vérifiez que la position initiale de la plaque à bascule est conforme à la synchronisation.

2. Vérifiez si le mécanisme de rotation est flexible et fiable. Un multimètre à pointeur peut être utilisé pour la surveillance de suivi.

3. Vérifiez si le mécanisme de rotation est flexible et fiable.

4. Vérifiez le réglage des heures de clignotant;

5. Vérifiez que la table rotative est en contact avec la paroi interne de la cloche

6. Vérifiez la stabilité de la table rotative lors de la rotation

Dans le même masque, la dispersion de fréquence du gabarit est grande:

1. Vérifiez si la puce elle-même a une grande dispersion.

2. Vérifiez si la position du tableau de correction de film change et réajustez le tableau de correction

3. Vérifiez si le déflecteur recouvre complètement le bateau en molybdène

4. lors de l'ouverture et de la fermeture. Vérifiez si l'anneau de bombardement couvre le bateau en molybdène.

5. Vérifier si le bateau en molybdène répond aux exigences

Grande dispersion de fréquence entre POTS:

1, regardez sur le moniteur s’il existe un phénomène de saut de fréquence

2, mesures répétées et observation de surveillance unifiée de la stabilité de l'oscillateur (pas plus de 75 Hz)

3, vérifiez si l'eau de refroidissement n'est pas obstruée

4, vérifier l'utilisation du bateau de molybdène est conforme aux exigences, d'adopter le bateau circulaire de molybdène

5, surveillance, choisir si répondre aux exigences, recommander la surveillance de mon entreprise

La fréquence de revêtement ne s'arrête pas:

1. Vérifiez si le réglage du paramètre de fréquence est correct

2, ampèremètre de bateau en molybdène s’il existe une indication

3. Y a-t-il de l'argent dans le bateau en molybdène?

4. Que la puce de surveillance saute en fréquence

5. Si le coefficient de correction est faux

6. Faut-il remplacer le panneau de surveillance après un retrait anormal

Fréquence non testée:

1, changer la fiche de surveillance

2, vérifier pour vérifier si la déformation des éclats d'obus

3, insérez directement avec une fréquence de mesure d'entrée de l'oscillateur à cristal 5 MHz, si vous avez des questions de sonde de fréquence vérifiées, sans fréquence, anomalie de l'oscillateur de mesure du compteur de fréquence de sortie, la preuve de l'oscillateur de sortie normal a un problème mal avec la preuve d'ordinateur à la carte de contrôle d'affichage .

Aucune action des vannes de régulation:

1. Vérifiez si l’alimentation 5V a une sortie et est connectée correctement

2. Vérifiez si l'extrémité commune d'alimentation de la carte de relais à semi-conducteurs a des vannes de commande électriques et ne fonctionne pas individuellement

3. Vérifiez si le relais à semi-conducteurs correspondant a une sortie

Travailler sans vide:

1. Des chiffres anormaux apparaissent dans la jauge à vide numérique et il n'y a aucun changement dans les 30 secondes, comme le phénomène de 0,00-4 (courant dans la jauge à vide domestique).

2. Après que le vacuomètre soit allumé pendant 30 secondes, le pointeur noir n’oscille toujours pas.

Surveillance utilisant le principe

1, surface de surveillance pour nettoyer

2, moniteur à utiliser avec le placage, exposé plus de 12 heures dans l'air, il est interdit d'utiliser

3, surveillance et défaut de surface d'interdire l'utilisation de

4, en cours d'utilisation pour utiliser l'enregistrement de lot, il est interdit de faire apparaître un mélange d'ancien et de nouveau

5, la surveillance de la durée de vie de la répétée est 3 fois.