Les systèmes peuvent inclure des sources de pulvérisation de magnétron avec des cibles de 1,5 ou 2 pouces de diamètre et jusqu'à quatre sources par système, avec des capacités RF et DC. Une grande variété d'options telles que les MFC pour différents gaz, des blocs d'alimentation, des verrous de charge à une ou plusieurs plaquettes, etc. peuvent être fournis. Les magnétrons peuvent être montés sur des étages Z pour fournir une large gamme et une résolution des taux de dépôt.

Les dimensions des plages de test peuvent aller d'environ 4 mm carrés à plus de 25 mm carrés, adaptées aux besoins des utilisateurs. Il est très facile de modifier la taille des plages de test et les distances de répétition sur le terrain avec notre logiciel facile à utiliser.

Capacités et composants

Les systèmes de pulvérisation combinatoire fourniront à l'utilisateur un large éventail de capacités pour la croissance de nouveaux matériaux. Un tel équipement aidera rapidement le client à déterminer la composition appropriée nécessaire pour des applications spécifiques, économisant ainsi du temps et de l'argent en testant des centaines de compositions uniques, une par une.

Les systèmes sont livrés complets avec tous les composants nécessaires, tels que boîtiers de distribution, alimentations, MFC, interrupteurs de sécurité et vannes pneumatiques, avec rétroaction en boucle fermée pour un contrôle de pression constant, différents ensembles de pompage, logiciel complet, etc. peut être adapté individuellement aux exigences spécifiques du client.