Classifications des manomètres à vide

1. Classé par la méthode d'étalonnage de vide

(1) Jauge à vide absolue: lire directement la pression du gaz. Sa réponse en pression (échelle) peut être calculée par sa propre géométrie ou déterminée par la force de mesure. Les indicateurs de vide absolus sont précis pour tous les gaz. Les jauges de type U, les jauges de compression et les jauges de rayonnement thermique appartiennent tous à des jauges à vide absolues.

(2) Jauge de vide relative: La pression est mesurée par la quantité liée à la pression du gaz. Il ne peut pas être mis à l'échelle par un simple calcul et doit être calibré à l'échelle. Une jauge de vide relative se compose généralement d'un tube de mesure de vide (ou tête de mesure) qui fonctionne comme un capteur et un mesureur utilisé pour le contrôle et l'indication. La lecture est liée au type de gaz. Il existe de nombreux types de manomètres à vide relatifs, tels que les manomètres à vide à conduction thermique et les manomètres à vide à ionisation.

2. Classification par principe de mesure de mesure de vide

2.1. Jauge de vide à mesure directe

Ce type de vacuomètre mesure directement la force par unité de surface, y compris:

(1) Indicateur de niveau de liquide statique: La pression est mesurée par la différence de niveau de liquide aux deux extrémités du tube en forme de U.

(2) Jauge de vide d'élément élastique: La surface du récipient reliée au vide est soumise à une pression pour générer une déformation élastique. La grandeur de la valeur de pression est mesurée par la déformation élastique.

2.2. Indicateur de vide de mesure indirecte

Lorsque la pression est de 10 ^-1 Pa, la force agissant sur la surface de 1 cm ² n'est que de 10 ^-5 N, et il est évidemment difficile de mesurer une force aussi faible. Cependant, le changement de pression peut être mesuré indirectement en fonction des variations des grandeurs physiques associées à la pression du gaz à basse pression. Ce type de jauge à vide comprend:

(1) Jauge à vide à compression: Le principe est d'appliquer la loi de Boyle sur la base du tube en U, c'est-à-dire qu'une certaine quantité de gaz à tester est soumise à une compression isotherme pour augmenter la pression, un indicateur de vide à tube en U. Puis calculer la pression mesurée en utilisant la relation entre le volume et la pression.

(2) Jauge à vide à conduction thermique: Elle est faite par le principe que la conduction thermique du gaz sous basse pression est liée à la pression. Les jauges de vide à conduction thermique couramment utilisées sont des jauges de vide à résistance et des jauges de vide à thermocouple.

(3) Jauge de vide de rayonnement thermique: Utilisant le principe du rayonnement et de la pression de la chaleur.

(4) Jauge de vide à ionisation: principe selon lequel les molécules de gaz sont impactées et ionisées par les particules chargées sous basse pression, et le courant ionique généré change avec la puissance électrique. Les jauges de vide d'ionisation incluent la jauge de vide d'ionisation de cathode chaude, la jauge de vide d'ionisation de cathode froide, la jauge de vide d'ionisation radioactive et ainsi de suite.

(5) Indicateur de tube de décharge: Le degré de vide est mesuré par la condition de décharge de gaz et la nature de la couleur et de la pression de décharge, et ne peut généralement être utilisé que comme une mesure qualitative.

(6) Jauge à vide visqueuse: Le principe du frottement externe est utilisé pour mesurer la pression. Y compris la jauge de vide à diaphragme et la jauge de vide à rotor magnétique.

(7) Microscopie induite par champ: La pression est calculée par la relation entre le temps d'adsorption et de désorption et la pression.

(8) Manomètre à vide à pression partielle: La technique de spectrométrie de masse est utilisée pour mesurer la pression partielle du gaz mélangé. Les jauges couramment utilisées sont les spectromètres de masse quadripolaires, les spectromètres de masse à cyclotron et les spectromètres de masse à radiofréquence.