classification des maladies cardiovasculaires
May 06, 2024| classification des maladies cardiovasculaires
Selon la différence dans l'état de phase normal de la source de matériau réactif CVD, elle peut être définie en outre comme
1. Source de matières gazeuses : substances gazeuses à température ambiante (H2, N2, CH4, Ar, etc.). Lorsque la source de matière gazeuse est utilisée, le système de dispositif de revêtement est grandement simplifié car seul le débit du gaz de réaction doit être contrôlé par le débitmètre, plutôt que par la température.
2. Sources de matières liquides : substances réactives liquides à température ambiante, telles que TiCl4, CH3CN, SiCl4 et BCl3. La quantité de source de matière liquide entrant dans la chambre de dépôt est contrôlée en contrôlant le gaz porteur et la température de chauffage lorsque le flux de matière liquide est utilisé.
3. Sources de matières solides : substances solides à température ambiante, telles que AlCl, NbCl5, TaCl5, ZrCl5 et HfCl4. Étant donné que ce type de matériau doit sublimer la quantité de vapeur requise à une température plus élevée, la température de chauffage et la capacité de charge doivent être strictement contrôlées lors de l'utilisation de ce type de procédé.
Société IKS PVD, machine de revêtement décoratif, machine de revêtement d'outils, machine de revêtement DLC, machine de revêtement optique, ligne de revêtement sous vide PVD, le projet clé en main est disponible. Contactez-nous maintenant, e-mail : iks.pvd@foxmail.com