Alimentation du biais: quelle est la différence entre le biais CC et le biais d'impulsion?
Mar 17, 2025| Alimentation du biais: quelle est la différence entre le biais CC et le biais d'impulsion?
Alimentation de polarisation: la tension de biais CC et la différence de biais d'impulsion se reflètent principalement dans le mode et l'effet de sortie. Les alimentations polarisées CC sont sorties dans une tension continue, tandis que les alimentations biaisées pulsées sont sorties en mode d'impulsion unipolaire. Ce mode d'impulsion fait passer le pic de la tension pendant une courte période, puis diminuer rapidement. Le biais CC convient à l'application d'un biais négatif au substrat pour contrôler l'énergie ionique, tandis que le biais d'impulsion permet de contrôler la température de dépôt en ajustant le cycle de service d'impulsion pour modifier le gradient de température entre le substrat et la surface. Avec l'introduction du biais d'impulsions, l'efficacité du bombardement ionique est améliorée, les propriétés du film sont améliorées et la température de dépôt est réduite.
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