Étapes de base du processus de revêtement PVD sous vide
Apr 11, 2018| Processus de prétraitement
Decoating, dynamitage, polissage, passivation, nettoyage, serrage
Procédé de revêtement
Évacuation, chauffage, test de fuite, nettoyage par bombardement, revêtement, refroidissement
Après traitement
1. Nettoyage: Assurez-vous que la surface du produit avant le revêtement est propre, plus la surface est propre, meilleure est la qualité du revêtement.
2. Évacuation: Évacuer le gaz résiduel de la chambre à vide.
3. Chauffage: Le four et la pièce sont chauffés en même temps pour accélérer le dégagement de gaz résiduel.
4. Test de taux de montée en tension: taux de fuite de gaz et taux de libération de gaz du four de test.
5. Nettoyage par bombardement: Enlevez les impuretés de la surface de la pièce pour exposer la surface propre.
6. Revêtement: Film déposé.
7. Refroidissement: Éviter l'oxydation et la décoloration de la pièce.
Pourquoi le refroidir?
Une fois le processus de revêtement terminé, la température de la chambre à vide peut atteindre 500 ° C. Si elle est évacuée sans refroidissement, la surface de la pièce à haute température qui n'est pas plaquée deviendra bleue à cause de la réaction avec l'air.
Comment refroidir?
1. Pour fermer la vanne haute et la jauge à vide, et la chambre à vide est séparée du groupe de pompe.
2. Lorsque l'opérateur appuie sur le bouton d'évent N 2 , l'azote pré-connecté sera rempli dans la chambre à vide à travers la soupape de gonflage N 2 et lorsque la pression dans la chambre à vide atteint la pression préréglée du pressostat, le N 2 la valve de gonflage est fermée.
3. La chambre à vide est remplie d'une grande quantité de N 2 , et le degré de vide est très faible, ce qui est plus propice à la conduction de la chaleur. Il peut raccourcir le temps de refroidissement et augmenter l'efficacité de production, et le temps de refroidissement réel peut être réduit de 90 minutes à 60 minutes.
4. Parce que l'hélium a une conductivité thermique plus élevée, le refroidissement de l'hélium est plus rapide que l'azote, mais le coût est plus élevé.
5. Le programme de refroidissement rapide pour les équipements étrangers peut réduire le temps de refroidissement de 50% en refroidissant le cycle de refroidissement du gaz.
Les raisons du test de montée en pression
L'environnement de vide est le facteur le plus important affectant la qualité finale de revêtement. Avant le revêtement, le taux de montée en pression doit être respecté afin de garantir que les conditions de l'environnement sous vide correspondent à la norme de revêtement.