Cuisson au four--facteur qui influe sur le système d’aspiration

Pour la cuisson, afin d’atteindre la pression dans l’ultravide rang)<>^-8hPa), les conditions suivantes doivent être remplies :

1. le vide final de la pompe à vide doit être inférieure à 10 fois la pression finale requise.

2. les matériaux utilisés pour les chambres à vide et composants doivent être optimisés pour le dégazage minimal, et il doit avoir un niveau approprié de traitement de surface.

3. métalliques scellés (par exemple, les raccordements à bride CF ou bride ISO que joints Helicoflex standard) doivent être utilisés.

4. nettoyage est essentiel pour l’ultravide. Toutes les pièces doivent être nettoyés avant l’installation et les opérateurs doivent porter des gants sans graisse lors de l’installation des pièces.

5. matériel et pompes à vide élevés doivent être cuits.

6. fuites doivent être évitées et éliminés avant de démarrer le chauffage. Pour ce faire, il doit être utilisé un détecteur de fuite d’hélium ou un spectromètre de masse quadripolaire.

7. cuisson sensiblement augmente le taux de désorption et la diffusivité, et cela conduit à une diminution drastique du temps d’aspiration. Comme dernière étape du procédé de fabrication, chambres UHV peuvent être dégradées à des températures jusqu'à 900° C. La température de cuisson ultérieure peut atteindre 300° C. Instructions du fabricant de la pompe pour la plus haute température de cuisson de la bride de la pompe à vide haute généralement limitent la température maximale dans le travail à 120° C. Si une source de chaleur (par exemple, le chauffage par rayonnement) est utilisée dans un dispositif à dépression, la puissance apparente rayonnée autorisée doit être respectée.

8. le matériel est mis en service après l’installation. Après avoir atteint une pression de 10^-5hPa, allumer le chauffage. Pendant le chauffage, la jauge à vide a été exploitée et dégazée par 10 heures. Si un contenant en acier inoxydable et joint métallique avec une qualité de traitement de surface appropriés est utilisés, une température de cuisson de 120° C et un temps de cuisson d’environ 48 heures suffisent atteindre une plage de pression de 10^-10hPa.

9. cuisson devrait continuer jusqu'à ce qu’elle atteigne 100 fois la pression finale attendue. Avant de s’éteindre le chauffage de chambre de pompe et vide. Après refroidissement, la pression finale désirée est susceptible d’être atteint. À des pressions inférieures à 5 x 10^-10hPa, une grande surface interne sera avantageuse d’utiliser une pompe associée à gaz (pompe à sublimation titane) que pompes sortir l’hydrogène fuyant le métal à un fort débit volumétrique.