Réservoir d'air
Oct 12, 2023| Réservoir d'air
Le petit groupe de pompes à vide poussé à pompe à diffusion est généralement configuré avec un réservoir de gaz, qui est disposé entre la pompe à diffusion et la pompe avant pour stocker le gaz évacué par la pompe à diffusion. Les raisons du réglage du réservoir d'essence sont :
1) La nécessité d'une protection du système contre les chocs
Lorsque le système de vide fonctionne, certains processus nécessitent une résistance stricte aux chocs, de sorte que l'ancienne pompe à vide mécanique doit cesser de fonctionner pendant un certain temps lorsque la chambre à vide est en état de fonctionnement. Pendant ce temps, le gaz évacué par la pompe à diffusion est entièrement stocké dans le réservoir de gaz, et le réservoir de gaz est utilisé pour remplacer la pompe mécanique afin de maintenir le fonctionnement normal de la pompe à diffusion.
2) Afin de raccourcir le cycle de travail
Certains processus de production nécessitent que la chambre à vide soit mise à l'air libre en échange de composants et en charge sans fermer le réchauffeur de la pompe à diffusion. La pompe avant de l'unité de vide est utilisée comme pompe de pré-pompage. Après le chargement, la chambre à vide est pré-pompée avec une pompe mécanique, et le réservoir de gaz est utilisé pendant ce temps pour entretenir la pompe à diffusion (comme la pompe avant).
3) Afin d'éviter qu'une grande quantité de décharge de gaz instantanée dans la chambre à vide n'affecte le fonctionnement normal de la pompe à diffusion
Dans le processus de production sous vide, le volume d'échappement est particulièrement important sur une certaine période de temps, mais le temps est court. S'il n'est pas économique de configurer la pompe mécanique en fonction du volume d'échappement maximum à ce moment, le réservoir de stockage de pré-étage peut être configuré dans le système à ce moment pour stocker une partie du gaz au volume d'échappement maximum afin d'éviter le pression de pré-étage de la pompe à diffusion dépassant la pression inverse maximale.
4) Utilisé pour stabiliser la pression de sortie de la pompe à diffusion
Étant donné que l'échappement de la pompe à vide mécanique est pulsé, bien que la fréquence ne soit pas élevée (généralement environ 7 fois/s), cela provoquera également des fluctuations dans la pression de sortie de la pompe à diffusion, et le réglage du réservoir de gaz peut réduire ces fluctuations. fluctuations.
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