
Nd-Fe-B (chaîne de production de revêtement en céramique néodyme-fer-bore-céramique)
NdFeB (néodyme fer bore) Chaîne de production de revêtement de métallisation de surface de puce en céramique, adopter un processus de pulvérisation magnétron, déposer un film métallique de terbium (Tb) ou un film métallique de dysprosium (Dy) sur la surface de la puce en céramique NdFeB et améliorer les performances de la céramique de magnétron par traitement par diffusion .
- Présentation du produit
Paramètres techniques
1. Espace d'installation effectif : W7000XL23000XH1500mm | 7.Sputtering: pulvérisation de magnétron de CC |
2. Chambre à vide : W1650XL16400XH500mm | 8. Taux de déposition: <> µm par heure, précision à 0,5 nm |
3.Cadre de chargement: W1050XL1050 | 9.Conception: Conception de la modularisation des chambres à vide et des processus |
Matériau 4.Target: cible jumelée W110XL1050mm ou cible jumelée Ф 110XL1050mm | 10.Process: gaz de procédé contrôlé par jauge et vanne de débit |
5.Work-Piece: puce en céramique, épaisseur 2-15mm | 11. Source d'alimentation: 380V 50Hz |
6. Rangée de vide: ATM-6X10 -4 Pa | 12. Bride externe: KF16 et KF25 |
13. Système de vide: pompe rotative, pompe de racines et pompe moléculaire |
Aimant Néodyme NdFeB


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