Système de métallisation en ligne intégré
Chaîne de production de revêtement de métallisation de surface IKS-H750 Chaîne de production de revêtement de métallisation de surface de puce en céramique de NdFeB (bore de fer néodyme) Application: La chaîne de production de revêtement de métallisation de surface de ...
- Présentation du produit
Ligne de production de revêtements de métallisation de surface IKS-H750
Chaîne de production de revêtement de métallisation de surface de puce en céramique de NdFeB ( néodyme- fer- bore )
Application d'équipement:
NdFeB ( néodyme fer bore ) Chaîne de production de revêtement de métallisation de surface de puce en céramique, adopter un processus de pulvérisation magnétron, déposer un film de terbium (Tb) ou un film de dysprosium (Dy) sur la surface de la puce en céramique NdFeB .
La ligne de production IKS-H750, est un système de revêtement intégré, une production de masse réalisée en continu de petits revêtements de métallisation en céramique, une capacité de production quotidienne allant de 60 000 à 100 000 pcs. Convient pour la couche de fonction de métallisation de surface de puces céramiques NdFeB, telle que films de modification de la surface de pulvérisation, comme le terbium (Tb), le dysprosium (Dy), l'aluminium, etc. La chaîne de production adopte une conception automatisée, une production par lot continue, une efficacité de production élevée, une bonne fiabilité.
Caractéristiques techniques:
1. Production en masse et en lots, production, procédé de métallisation en lots.
2. La chaîne de production réduit les dommages causés à l'environnement et au corps humain.
3. La précision de contrôle de la quantité d'infiltration de terbium (Tb) et d'infiltration de dysprosium (Dy) a permis d'éviter l'utilisation de matériaux rares et d'améliorer l'utilisation.
4. Le processus de métallisation intégré en ligne a amélioré la profondeur d'infiltration de terbium (Tb) et d'infiltration de dysprosium (Dy), ainsi que ses performances.
5. Système de revêtement intégré en ligne. Conception standardisée et modulaire module Le module de traitement peut être amélioré et ajusté, en fonction des besoins de production réels, la mise à niveau du processus et du produit est simple et peu coûteuse.
Paramètres techniques:
1. Espace d'installation effectif : W7000XL23000XH1500mm | 7.Sputtering: pulvérisation de magnétron de CC |
2. Chambre à vide : W1650XL16400XH500mm | 8. Ratio de dépôt: <> µm par heure, précision à 0,5 nm |
3.Cadre de chargement: W1050XL1050 | 9.Conception: Conception de la modularisation des chambres à vide et des processus |
4. Matériau de la cible: cible jumelée W110XL1 050mm ou cible jumelée 110XL1050mm | 10.Process: gaz de procédé contrôlé par jauge de débit et vanne |
5.Work-Piece: puce en céramique, épaisseur 2-15mm | 11. Source d'alimentation: 380V 50Hz |
6. Rangée de vide: ATM-6X10 -4 Pa | 12. Bride externe: KF16 et KF25 |
13. Système de vide: pompe rotative, pompe à racines et pompe moléculaire |
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