La structure de base de l'équipement PECVD

L'équipement PECVD est principalement composé d'un système de contrôle du vide et de la pression, d'un système de dépôt, d'un contrôle du gaz et du débit, d'un système de protection de la sécurité du système, d'un contrôle par ordinateur et d'autres pièces. Le schéma fonctionnel de la structure de l'équipement est illustré à la figure 2.

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