Concept de processus de revêtement par pulvérisation
Aug 14, 2020| Concept de processus de revêtement par pulvérisation
Le revêtement dit de pulvérisation cathodique fait référence au procédé de fabrication de films en bombardant le matériau cible avec des particules chargées d'énergie (telles que des ions positifs) dans une chambre à vide, de sorte que les atomes ou groupes à la surface du matériau cible puissent s'échapper. Les atomes qui se sont échappés forment un film à la surface de la pièce avec la même composition que le matériau cible. Cette méthode de préparation des films est appelée revêtement par pulvérisation. À l'heure actuelle, le procédé de pulvérisation est principalement utilisé pour former des films métalliques ou en alliage, en particulier pour fabriquer des films réflecteurs infrarouges d'électrode et de surface en verre. En outre, la pulvérisation est également utilisée pour préparer des films fonctionnels, tels que des films céramiques conducteurs transparents in2O3-sno2 dans des dispositifs d'affichage à cristaux liquides.
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