Classification générale des pompes cryogéniques pour équipements de revêtement sous vide
Apr 13, 2019| Classification générale des pompes cryogéniques pour équipements de revêtement sous vide
Selon le mode d'alimentation moyen, les pompes cryogéniques sont réparties dans les types suivants:
Pompe cryogénique de réservoir de stockage: un fluide cryogénique (hélium liquide) est directement injecté dans le réservoir de stockage de la pompe afin de permettre la condensation et l'extraction du gaz.
Les avantages de la pompe cryogénique pour réservoir sont de petite taille, sans vibrations, sans bruit, faciles à utiliser, adaptés aux collèges et universités et aux instituts de recherche, ainsi qu’aux accélérateurs à haute énergie et autres systèmes d’ingénierie à vide poussés.
L’inconvénient de la pompe cryogénique du réservoir est que le coût de fonctionnement est élevé, que la durée d’utilisation du fluide à basse température est courte, le système de vide nécessitant un fonctionnement continu à long terme doit compléter le fluide de travail régulièrement, et est limité par les conditions d'alimentation en milieu à basse température.
Pompe cryogénique à écoulement: dans la pompe, le tuyau de refroidissement de la plaque cryogénique est relié au détendeur de réfrigération, puis le fluide cryogénique (hélium gazeux) est fourni à la pompe cryogénique par le biais du pipeline externe, qui absorbe la chaleur de la plaque cryogénique, puis retourne au compresseur de réfrigération, formant un cycle fermé. Cette pompe cryogénique a un volume énorme, un pipeline complexe et une perte de pipeline importante par froid.
Les avantages de la pompe cryogénique sont une grande puissance de refroidissement, z * convient au pompage de grandes quantités d’air ou de grandes chambres à vide, largement utilisé dans les équipements de moulage annulaire, le dispositif de réaction thermonucléaire contrôlée, le test d’allumage en altitude et la faible test aérodynamique de pression.
Pompe cryogénique pour petite machine frigorifique: La pompe cryogénique pour petite machine frigorifique à circulation fermée est composée d'un corps de pompe cryogénique, d'une plaque de pompage cryogénique, d'une plaque de blindage de radiation, d'une machine frigorifique et d'un compresseur, etc.
Cryopompe du petit réfrigérateur et processus de la pompe à basse température z *, refroidissement secondaire de la tête du réfrigérateur, en particulier de la tête du réfrigérateur directement raccordé à l'écran de rayonnement, plaque froide, la machine raccordée au compresseur est en température normale, élevée (ou basse) le gaz sous pression, il n’ya pas de problèmes de transport de fluide à basse température, qu’il s’agisse d’une pompe à réservoir de stockage à basse température ou à basse température avec toutes sortes d’avantages, est la pompe à vide ultra propre et idéale.
La pompe cryogénique du petit réfrigérateur est largement utilisée dans la préparation de films, la technologie de la microélectronique, la physique des hautes énergies, le petit équipement de moulage annulaire et d'autres domaines industriels.
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