Caractéristiques et classification de l’unité de vide ultra-élevée

Caractéristiques et classification de l’unité de vide ultra-élevée

Les unités de vide ultra-élevées travaillant au-dessus de 10-5Pa incluent la pompe de diffusion, l’unité de vide ultra-haute de pompe moléculaire et l’unité ultra-haute de vide sans huile. L’appareil a les caractéristiques suivantes :
(1) le degré de vide ultime de la pompe principale est élevé, au-dessus de 10-7~ 10-8Pa ;
(2) peut résister à la cuisson à haute température de 200~450°C ;
(3) La pression partielle du gaz de retour dans la pompe principale est très faible;
(4) à pomper la pompe principale forte sélective de gaz, pour être équipé d’une pompe auxiliaire assez grande ;
Le taux de sortie des matériaux de la chambre à vide, du tuyau, de la vanne et d’autres composants est très faible, et le taux de fuite d’air est très faible.

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